Probestationen sind präzise Plattformen zum Positionieren von Mikromanipulator‑Sonden auf Wafern, Chips oder verpackten Bauteilen für elektrische Tests. Sie bieten stabile Arbeitsflächen, thermische Chucks, Vakuumhaltung und Mikroskopintegration für genaue Kontaktierung und Messung. Modelle reichen von manuellen Tischstationen bis zu automatischen Multi‑Site‑Systemen und lassen sich mit Oszilloskopen, Parameteranalysatoren und Probe Cards für Entwicklung, Fehleranalyse und Produktionstests koppeln.
Überprüfen Sie Bühnenbewegung, Mikroskopoptik, Sondenjustage, Chuck‑Planheit, Vakuumintegrität und Steuerungsfunktionen. Fordern Sie Wartungsunterlagen, Kompatibilitätsangaben zu Probe Cards, Softwareversionen und Beispiel‑Testaufbauten an. Klären Sie Ersatzteilverfügbarkeit und vorhandene Kalibrierzertifikate.
Versenden Sie in einer klimatisierten, vibrationsgedämpften Holzkiste mit interner Verzurrung für Mikroskop, Bühne und Elektronik. Entfernen Sie lose Sonden, sichern Sie bewegliche Achsen, verpacken Sie Verbrauchsmaterial separat und nutzen Sie Spediteure mit Erfahrung für Labor‑/Halbleiterausrüstung. Versichern Sie die Sendung und dokumentieren Sie Seriennummern.
Reinigen Sie Optik und Sonden, pflegen Sie Vakuumdichtungen, schmieren Sie Führungssysteme laut Handbuch und bewegen Sie Achsen regelmäßig. Führen Sie periodische Kalibrierungen der Bühnenplanheit und Positionsgenauigkeit durch, prüfen Sie die Temperaturgenauigkeit des thermischen Chucks und aktualisieren Sie Software/Firmware. Ersetzen Sie abgenutzte Sondenspitzen und Verbrauchsmaterialien.