Neu Kinetic MEGA® Clean Auto in Pleasanton, Kalifornien, USA

Automatische und halbautomatische Nassbänke MEGA® Clean Auto
Bedienersicherheit und maximale Ergebnisse
MEGA® Clean Auto ist ein komplettes automatisiertes Nassbank-System, das für einen maximalen Gerätedurchsatz, Bedienersicherheit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt ist. Bedienerfehler werden durch den Einsatz der Planungssoftware und des automatisierten Transportsystems, das eine hochgradig kontrollierte, wiederholbare Verarbeitung der empfindlichsten Wafersubstrate ermöglicht, praktisch ausgeschlossen.
Die PC-basierte Steuerungsschnittstelle des Systems ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Wafer-Fortschritts durch die verschiedenen Prozessbäder und maximiert den gesamten Wafer-Durchsatz, indem sie die Abschlusszeiten jedes Prozesses überwacht und die Wafer automatisch durch die aufeinanderfolgenden Prozessbäder transportiert.