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2011 Oxford, NGP-1000, PECVD
- Hersteller: Oxford
Seriennummer.: 94-815494 | Menge: 1 | Ausstattungsdetail: PECVD | Ausrüstung: PECVD
Suwon, Südkorea
2013 Oxford, Plasmalab100-ICP380, ICP-Ätzer
- Hersteller: Oxford
Seriennummer.: 94-515033 | Menge: 1 | Ausstattungsdetail: ICP-Ätzer | Ausrüstung: ICP-Ätzer | Beschreibung: N/A
Suwon, Südkorea
2013 Oxford, Plasmalab System100, PECVD & ICP380
- Hersteller: Oxford
Seriennummer.: N/A | Menge: 1 | Ausstattungsdetail: PECVD UND ICP380 | Ausrüstung: ICP-PECVD | Beschreibung: 415V, 50Hz
Suwon, Südkorea
2013 Oxford, Plasmalab ICP380-PLASMALAB100, ICP-Ätzer + PECVD
- Hersteller: Oxford
Seriennummer.: 94-515033 | Menge: 1 | Ausstattungsdetail: ICP-Ätzer + PECVD | Ausrüstung: ICP-Ätzer + PECVD | Beschreibung: N/A
Suwon, Südkorea
Südkorea
Plasmalab ICP380 & Plasmalab100 ICP Etcher 100 RIE+PECVD
- Hersteller: OXFORD
Südkorea