Wafergröße: 8" | Prozess: STRIPPER / ASCHER | Versand: EXW
Ätzsysteme sind industrielle Anlagen zum Entfernen von Material von Substraten mittels chemischer, Plasma- oder Nassätzverfahren für Leiterplatten, Halbleiter, Metalle und dekorative Oberflächen. Die Geräte reichen von Tisch-Nassätzern bis zu Inline-Plasma-/RIE-Einheiten mit Prozesssteuerung, Abluftfiltration und Automatisierung. Beim Kauf gebrauchter oder überholter Anlagen sind Prozesskompatibilität, Durchsatz, Abfallmanagement, Sicherheitsfunktionen sowie Verfügbarkeit von Ersatzteilen und Verbrauchsmaterialien entscheidend.
Prüfen Sie Prozesskompatibilität (chemisch vs. Plasma), Zustand von Kammer und Vorrichtungen, Dichtungen und Pumpen, Steuerung/Software, Wartungsprotokolle, Abluft-/Filtersysteme sowie Verfügbarkeit von Ersatzteilen und Verbrauchsmaterialien. Erfragen Sie frühere Prozesse, die Kontamination verursachen könnten.
Reinigen und neutralisieren Sie Chemikalien, entleeren Sie Flüssigkeiten, trennen Sie Gas- und Stromanschlüsse und dokumentieren Sie die Gefahrenstoffhistorie. Beauftragen Sie einen Transporteur mit Erfahrung bei Labor- oder Halbleiterausrüstung, sichern Sie Bauteile in Kisten, versichern Sie die Sendung und bereiten Sie erforderliche Gefahrgutpapiere vor.
Zu den Routineaufgaben gehören Kammerreinigung, Filter- und Pumpenwechsel, Prüfung von Vakuumdichtungen, Lecktests an Gasleitungen, Kalibrierung der Steuerung sowie korrekte Neutralisation/Entsorgung von Abfällen. Führen Sie Protokolle, befolgen Sie Herstellerintervalle und ersetzen Sie Verbrauchsmaterialien vorausschauend.