Zuhaltekraft: 500 | Schnecke: 120 | Schnecke gepanzert: Gepanzert | Holmweite: 950 | Wz. einbau min.: 500 | Wz. öffnung min.: 1100 | Spritzdruck: 1600 | Schussvolumen: 5430 | Maximalgewicht: 31+14 | Länge: 10,5 |...
Ion-Implantationssysteme sind präzise Anlagen, die Ionen in Halbleiterwafer beschleunigen, um Dotierstoffe einzubringen. Sie sind zentral für die Bauteilfertigung und bieten kontrollierte Dosis, Energie und Homogenität. Die Systeme reichen von Hochstrom-Produktionsimplantern bis zu Forschungsanlagen und umfassen Strahlführung, Vakuumsysteme, Ionquellen und Steuerungssoftware, abgestimmt auf Prozessrezepte und Durchsatzanforderungen.
Prüfen Sie Strahlführung, Vakuumdichtigkeit, Alter der Ionquelle, Hochspannungsbauteile, Wartungsprotokolle, Softwareversion und Verfügbarkeit von Ersatzteilen. Klären Sie die Prozesshistorie und regelmäßigen Verbrauchsmaterialwechsel.
Sorgen Sie für ausreichende Stromversorgung (inkl. Erdung für Hochspannung), Kühlung (Wasser oder Glykol), Gaszufuhr, Abluft sowie Zugänge zum Reinraum und ausreichende Bodenlast- und Platzreserven.
Nutzen Sie spezialisierte Schwertransport-Dienstleister mit Erfahrung an Halbleitergeräten. Planen Sie Demontage, Verpackung, Erschütterungsüberwachung, Reinraum-Transporte und örtliches Riggings sowie mögliche Zollabwicklung.
Mechanischer Anschluss, Versorgungsanschlüsse, Vakuum- und Dichtigkeitstests, Hochspannungsaufbau, Strahleinstellung, Übertragung von Prozessrezepten sowie elektrische und Strahlenschutzprüfungen. Werks- oder zertifizierter Service wird empfohlen.
Regelmäßige Aufgaben: Wartung der Vakuumpumpen, Austausch/Reinigung der Ionquelle, Strahlausrichtung, Inspektion von Hochspannungsisolatoren, Wechsel von Filtern und Gasleitungen sowie Software-Backups.
Die Teileverfügbarkeit hängt von Hersteller und Modell ab. Klären Sie die Versorgung für kritische Komponenten (Ionquellen, Netzteile, Pumpen) und erwägen Sie Serviceverträge oder Drittanbieter mit Modellerfahrung.