2004 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA2005 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA2004 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA2004 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA2005 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA2006 Novellus C3 Geschwindigkeit XT
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: CVD | Kammer: 3C/H
Georgia, USA- Georgia, USA
- Massachusetts, USA
- Massachusetts, USA
- Massachusetts, USA
- Massachusetts, USA
1996 AMAT P5000
- Hersteller: Amat
- Modell: P5000
Wafergröße: 8 " | Kammer: SACVD Delta TEOS 3K, SPUTTER 1K
Massachusetts, USA1997 amat P5000
- Hersteller: Amat
- Modell: P5000
Wafergröße: 8 " | Kammer: SACVD Delta TEOS 3K, SPUTTER 1K
Massachusetts, USA- Massachusetts, USA
- Massachusetts, USA