Wafergröße: 6" | Kammer: 1+1C/H (1CVD + 1ETCH)
Wafergröße: 12" | Prozess: OXID | Kammer: 3C/H
Wafergröße: 8 " | Kammer: 4C/H (TYP MIKROWELLE)
Wafergröße: 8 " | Kammer: 2C/H