2004 LAM EXELAN 2300
- Hersteller: Lam Research - Novellus
Wafergröße: 12" | Prozess: OXIDE ETCH | Kammer: KAMMER NUR
Südkorea
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2007 TEL Alpha 303I
- Hersteller: Tokyo Electron - TEL
- Modell: Alpha-303i
Wafergröße: 12" | Prozess: MTO | Typ: Typ K | Versand: EXW".
Südkorea
2007 TEL TELIUS SCCM
- Hersteller: Tokyo Electron - TEL
- Modell: TELIUS SCCM
Wafergröße: 12" | Prozess: TROCKENÄTZER POLY | Versand: EXW".
Südkorea
TEL SCCM SHIN
- Hersteller: Tokyo Electron - TEL
- Modell: SCCM SHIN
Wafergröße: 12" | Prozess: Trockener ETCHER | Versand: EXW".
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2001 TEL Alpha 303I
- Hersteller: Tokyo Electron - TEL
- Modell: Alpha-303i
Wafergröße: 12" | Prozess: Poly | Typ: H-Typ | Versand: EXW".
Südkorea
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AMAT ENDURA CL DEGAS
- Hersteller: Amat
- Modell: Endura
Wafergröße: 12" | Prozess: PVD | Kammer: Deags | Versand: EXW".
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1994 AMAT P5000
- Hersteller: Amat
- Modell: P5000
Wafergröße: 6" | Prozess: WXL | Kammer: 3 CH | Versand: EXW
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AMAT P5000 Mark-ll
- Hersteller: Amat
- Modell: P5000
Wafergröße: 8 " | Prozess: DxL-Nitrid | Kammer: 4C/H | Versand: EXW
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1998 AMAT P5000
- Hersteller: Amat
- Modell: P5000
Wafergröße: 8 " | Prozess: CVD | Kammer: CVD, ETCH | Versand: EXW
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